TFTテキスト

薄膜材料デバイス研究会第５回研究集会に出席した方はご存じと思いますが、同研究会編の教科書「薄膜トランジスタ」が出版されました。
従来、TFTに特化した日本語の教科書がなく、大学や企業で関係する研究開発を始めた人にとって、あちこちに分散した知識をまとめて学ぶことが困難でした。
そこで、薄膜材料デバイス研究会の組織委員を中心に新たに本を作ったのです。
Si-MOSトランジスタとは異なる点についても詳しく書かれており、Si系のTFTについては作製技術や評価技術についてもかなり記述されています。
現時点で書ける範囲で、酸化物半導体や有機半導体についても簡単な記述を入れてあります。
目次はこちら。

是非ご一読下さい。

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