2006年5月19日金曜日

New露光機到着!!


おまちかねの露光機が納入されました。
構造が直感的に分かりやすいので、使いやすいんじゃないかなと期待しています。まずは、実際にどのぐらいのパターンが切れるのか試してみたいところですね。
これまでのリソと根本的に違うのは、マスクアライナが付いている点です。複数回リソによる複雑なパターンが形成できます。単に装置が新しくなったということではなく、素子設計の自由度が格段に増したという点が重要です。これまでは新しいパターンを試したくても、リソマスクを作製するには金がかかるので躊躇せざるを得ませんでしたが、これまであきらめざるを得なかったアイデアの何割かは、この装置を使えば実行可能です。もちろんフィルムマスクもこれまでどおり使えます。基板吹き上げ機構の構成やスピナー等、本格的に活用するにはもうちょっと整備しないといけないところもありますが、リソ装置としては既に実戦配備済みです。
(不倒自転車さん、間に合わなくてごめんなさい)

MS07